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半導体製造装置(枚葉洗浄装置)のプロセス開発。半導体製造装置の評価、実験、解析、分析などの性能評価・改善業務。顧客ニーズに対応した装置性能実証業務。
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半導体製造装置(プラズマCVD、ALD装置)のプロセス開発。薄膜形成プロセスの開発およびプロセス技術の改善業務。
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