03-6272-9661
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ウェハ・プロセス総合管理システム(搬送ユニットの組込みソフトウェア)の要求定義、外部設計、プログラム設計、実装、評価
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次世代エッチング装置の搬送制御の詳細設計・開発・解析・評価
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